Pracownia nanostruktur azotkowych
Celem pracowni nanostruktur azotkowych (PNA) jest rozwój nowoczesnych technologii cienkowarstwowych struktur półprzewodnikowych.
Planowany w projekcie zakup aparatury technologicznej (układ MOCVD) oraz doposażenie układów dla badań strukturalnych i optycznych pozwolą na otrzymywanie i badania nanostruktur azotkowych na tradycyjnych podłożach szafirowych (układy niedopasowane) oraz na podłożach z azotku galu (układy dopasowane), hodowanego w polskiej firmie AMMONO, która jest światowym liderem w wytwarzaniu objętościowego azotku galu o wysokiej jakości strukturalnej. Planuje się prace nad nanostrukturami azotkowymi AlGaN/GaN z dwuwymiarowym gazem elektronowym o wysokiej ruchliwości, co pozwoli na wytwarzanie czułych fotodetektorów UV i sensorów chemicznych.
Niniejszy projekt ma na celu zarówno unowocześnienie laboratorium epitaksji jak i technologii obróbki warstw i przygotowania urządzeń półprzewodnikowych. Ponieważ azotki należą do materiałów o wysokiej odporności chemicznej, konieczne są specjalne metody obróbki, takie jak np. trawienie jonowe. W związku z tym zakupione zastaną urządzenia do obróbki półprzewodników takie jak układ do trawienia jonowego wysokiej rozdzielczości (dimpler i pocieniarka jonowa z opcją chłodzenia).
